Fikret YILDIZ

Isıl Gerilmelerin MEMS Fabry-Perot Optik Basınç Sensörünün Performansına Etkilerinin Araştırılması

Investigation of the Effects of Thermal Stress on the Performance of MEMS Based Fabry-Pérot Optical Pressure Sensor

Avrupa Bilim ve Teknoloji Dergisi

2021-Sayı: 21

572-580

ısıl gerilme, diyafram, MEMS tabanlı FPI optik basınç sensör

Thermal stress, Diaphragm, MEMS Based FPI optic pressure sensor

6368