Nihan AKIN SÖNMEZ

Korning Cam ve Si Alttaşlar Üzerine RF Magnetron Püskürtme ile Büyütülen SnO2 İnce Filmlerin Derinlik Profil Analizi

Depth Profile Analysis of SnO2 Thin Films Deposited on Corning Glass and Si Substrates by RF Magnetron Sputtering

Süleyman Demirel Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Dergisi

2019-Cilt: 23 - Sayı: 2

647-650

RF püskürtme, SnO2, İnce film, SiO2 ara-tabaka, SIMS

RF sputtering, SnO2, Thin film, SiO2 interlayer, SIMS

2414