Farklı Amaçlar İçin Kullanılabilecek n‐Tipi Silikon Kaplı Nano Gözenekli Membranların Hazırlanması
Homojen ve tekdüze gözenek çapına sahip nano gözenekli anodik aluminyum oksit kalıplar (AAO) kolayüretim tekniği açısından bir çok uygulama alanında geniş yer bulmuştur. AAO kalıplarının yüzeylerininfarklı fonsiyonel gruplar ile modifiye edilmesi, bu yapıların kararlılıklarını arttırdığı gibi uygulamaalanlarını da genişletmektedir. Bu çalışmada, öncelikle düzenli nano kanallara sahip AAO membranlaranodizasyon tekniği ile hazırlanmıştır. Zira, ticari olarak kullanılan AAO membranlarda, düzenli olmayannano kanal yapılarından dolayı uygulama açısından sorunlarla karşılaşılmaktadır. AAO nanogözenekliyapıların potansiyel uygulamalarının arttırılması için yapılar Plazma Destekli Kimyasal Buhar BiriktirmeYöntemi (PECVD) yardımıyla n‐tipi silikon ile kaplanmıştır. AAO membranların n‐tipi silikon ile kaplanmaaşaması öncesinde anodizasyon işlemine maruz bırakılarak düzenli nano kanallar elde edilmiştir.Ardından, PECVD yöntemi ile AAO membran nano‐gözenek yüzeylerinin ve nano kanalların içduvarlanının yaklaşık 40 nm kalınlığında bir n‐tipi silikon tabakası ile kaplanması sağlanmıştır. Bumembranlar AFM, SEM, EDX ve UV‐Görünür bölge absorpsiyon spektroskopisi ile karakterize edilmiştir.Elde edilen membranların 300‐700 nm arasında absorbsiyona sahip olması, mebranların n‐tipi silikon ilekaplandığını ayrıca teyit etmektedir. Elde edilen şeffaf yapıdaki, n‐tipi silikon kaplı membranlar, baştafotovoltaik uygulamalar olmak üzere farklı amaçlara yönelik nano cihaz yapımında kullanılabilir.
___
- 1. Ocakoglu, K., Joya, K. S., Harputlu, E., Tarnowska, A.,
Gryko, D. T., 2014. Nanoscale bio‐inspired lightharvesting
system develop from self‐assembled
alkyl‐functionalized metallochlorins nanoaggregates.
Nanoscale, 6, 9625‐9631.
- 2. Platschek, B., Keilbach, A., Bein, T., 2011.
Mesoporous Structures Confined in Anodic Alumina
Membranes. Adv. Mater., 23, 2395–2412.
- 3. Eddy Jai Poinern, G., Ali, N., Fawcett, D. 2011.
Progress in Nano‐Engineered Anodic Aluminum
Oxide Membrane Development. Materials, 4, 487‐
526.
- 4. Hönicke, D., Dietzsch, E., 2002. in Handbook of
Porous Solids, Vol. 4 (Eds: F. Schüth, K. S. W. Sing, J.
Weitkamp), Wiley‐VCH Verlag GmbH, 1395.
- 5. Lakshmi, B. B., Dorhout, P. K., Martin, C. R., 1997.
Sol‐Gel Template Synthesis of Semiconductor Oxide
Micro‐ and Nanostructures. Chemistry of Materials,
9, 2544‐2550.
- 6. Nishinaga, O., Kikuchi, T., Natsui, S., Suzuki, R. O.,
2013. Rapid fabrication of self‐ordered porous
alumina with 10‐/sub‐10‐nm‐scale nanostructures by
selenic acid anodizing. Scientific reports. 3, 2748.
- 7. Lee, C. W., Kang, H. S., Chang, Y. H., Hahm, Y. M.,
2000. Thermotreatment and Chemical Resistance of
Porous Alumina Membrane Prepared by Anodic
Oxidation. Korean J Chem Eng. 17, 266‐272.
- 8. Velleman, L., Triani, G., Evans, P. J., Shapter, J. G.,
Losic, D., 2009. Structural and chemical modification
of porous alumina membranes. Microporous and
Mesoporous Materials, 126, 87–94.
- 9. Aramesh, M., Cervenka, J., 2014. Surface
Modification of Porous Anodic Alumina for Medical
and Biological Applications, Nanomedicine (Eds.:
Professor Alexander Seifalian, Achala de Mel, Deepak
M. Kalaskar) Chapter 18.