Ayşegül KAHRAMAN, Ercan YILMAZ

FARKLI B+ İMPLANTASYON KOŞULLARI İÇİN RADFET’LERİN ELEKTRİKSEL KARAKTERİZASYONUNUN TCAD BENZETİM PROGRAMI İLE İNCELENMESİ

Investigation of Electrical Characterization of RadFETs For Dİfferent B+ Implantation Conditions With TCAD Simulation Program

Uludağ Üniversitesi Mühendislik Fakültesi Dergisi

2017-Cilt: 22 - Sayı: 2

53-64

RadFET, Üretim benzetimi, B+ implantasyonu, Eşik gerilimi, TCAD

RadFET, TCAD, Production simulation, B+ implantation, Threshold voltage, TCAD

5936