Ayşegül KAHRAMAN, Ercan YILMAZ

Ara yüzey seviyelerinin ve seri direncin Sc2O3 MOS kapasitörünün elektriksel karakteristiği üzerine etkisi

Effects of interface states and series resistance on the electrical characteristic of Sc2O3 MOS capacitor

Sakarya University Journal of Science

2018-Cilt: 22 Sayı: 3

915-921

yüksek-k, MOS, Sc2O3, Seri direnç, ara yüzey seviyeleri

high-k, MOS, Sc2O3, series resistance, interface states

204 85

0