Son 10-20 yıldır iyon implantasyonu ve diğer benzeri teknikler sertlik, aşınma direnci, korozyon direnci vb. gibi malzemelerin yüzey özelliklerinin iyileştirilmesinde önemli bir metod olmaya başlamıştır. Bu gelişim iyon kaynaklarındaki ve diğer iyon ışını ekipmanlarındaki araştırma ve geliştirme çalışmalarının artışıyla birlikte olmuştur. Bu makalede iyon üreteçlerinin fiziksel prensiplerine bir giriş yapılmış ve birkaç farklı tip üreteç hakkında bilgiler gözden geçirilmiştir.

In the last decade or two, ion implantation and related techniques have become important methods to improve the surface properties of materials, such as hardness, wear-resistance, corrosion-resistance, etc. This improvements in the method has occured with the growth of research and development on ion sources and other ion beam equipments. Not only is this article introduction to ion implantation and its equipments but also different kinds of sources and their physical principles have been reviewed.