Melik DÖLEN, Halit KAPLAN

Mikro-Elektro-Mekanik Sistemlerin Tasarım ve Ölçeklendirme İlkeleri

Makina Tasarım ve İmalat Dergisi

2005-Cilt: 7 - Sayı: 1

1-10

mikro-elektro-mekanik sistemler

322 203

0