Mehmet Akif ERİŞMİŞ

Foto-Litografik Maskeler İçin Değişen MEMS Aynaları Üzerine Bir Derleme

A Review On Variable MEMS Mirrors For Photo-Lithographic Masks

Academic Platform Journal of Engineering and Smart Systems

2013-Cilt: 1 - Sayı: 1

7-14

Mikro-ayna dizileri, Maskesiz litografi, MEMS

Micromirror arrays, Maskless Lithography, MEMS

6628