Etüd bölgemizde en eski kayaçlar Paleozoik yaşh şistlerin meydana getirdiği teşekkülâttır. Metamorfik serinin en altında gnayslar görülmektedir. Gnaysların üstüne gri, yeşil, kahverengi az metamorfik şistler gelir. Gnays ve şistler içinde yer yer mermer tabakalanna raslanır. Hersinien iltivalanmasını geçirmiş bulunan bu seri üzerine Jura diskordan olarak gelir. Kalker ve marnla temsil edilen Üst Jura üzerine Alt Kretase kalkerleri konkordan olarak gelirler. Alt Kretase sonunda bölge Austrik orojenik fazı ile su üstüne çıkmıştır. Üst Kretase fliş, marn, gre ve kalkerlerle temsil edilip, Alt Kretase üzerinde diskordandır. Monsienin son kalkerli teressübatından sonra, bölgede (Laramien orojenik fazı) meydana gelen çukurluklarda karasal Paleosenin kırmızı renkli detritik serisi teşekkül etmiştir. Konglomera, gre ve killerden müteşekkil kırmızı seri içinde volkanik arakatkı materyelleri mevcuttur. Kırmızı teşekkülât üzerine Eosen denizi gelir. Lütesien ile temsil edilen Eosen, konglomeratik gre, kil ve kalkerlerden müteşekkildir. Eosenden sonra deniz bölgeden tamamen çekilmiştir, Pireneen orojenik safhasından sonra bölgede husule gelen göllerde Miosen teressübatı ve sonra volkanizma faaliyeti vukua gelmiştir. Miosen başlıca konglomera, gre, kil, marn, kalker, enterkale tüf, obsidienden müteşekkildir. Yer yer linyit damarları ihtiva eder. Attik safhadan sonra Pliosene ait konglomera, gevşek gre, marn ve kalın jips tabakalan teşekkül etmiş ve bu arada bölgede birçok çöküntü fayları husule gelmiştir. Jipslerin teressübünden sonra hareketler başlamış (Vallakien safhası) ve meşhur Beypazarı-Çayırhan fleksürü meydana gelmiştir. 

The oldest rocks in the area are the Paleozoic schist formations. Gneisses occupy the lowermost part of the metamorphic series. These are overlain by little metamorphosed schists of gray, green and brown color. Marble beds are here and there encountered in the gneiss and schist formations. Jurassic sediments unconformably overlie this series which was subjected to Hercynian orogeny. Upper Jurassic strata, here represented by limestones and marls, -conformably underlie Lower Cretaceous limestones. This region emerged from under the sea during the Austric orogenic phase. Upper Cretaceous is represented with flysch, marl, sandstone and limestone layers and unconformably overlies Lower Cretaceous formations. Detritic red series of the continental Paleocene filled the depression areas, which were formed following the last Montian limy sedimentation (Laramian orogenic phase). Volcanic materials are found intercalated in this series comprising conglomerates, sandstones and clays. Eocene sea covered these red formations. Eocene formations, represented by the Lutetian sediments, include conglomeratic sandstone, clay and limestone beds. Following the Eocene epoch the sea withdrew from the area. Miocene sediments settled down in the lakes which were formed after the close of the Pyrenean orogenic phase and this was followed by volcanism. Miocene here is represented mainly by conglomerates, sandstones, clays, marls, limestones, intercalated tuffs and obsidians. Lignite beds are occasionally encountered. Following the Attic phase, Pliocerie conglomerates, loose sandstones, marls and thick gypsiferous beds were deposited. Numerous faults occurred in the area, due to regional subsiding. After deposition of the gypsiferous beds came the tectonic movements (Wallachian phase), which caused the well-known Beypazarı - Çayırhan flexure.