M. Tolga YURTCAN, Önder ŞİMŞEK, Mehmet ERTUGRUL

DARBELİ LAZER YIĞMA SİSTEMİ (PLD) İLE YBCO İNCE FİLMLERİN HAZIRLANMASI

Bu çalışmada Türkiye’de yaygın olarak kullanılmayan PLD tekniğini kullanarak yüksek kaliteye sahip YBa2Cu3O7-δ (YBCO) ince filmler ürettik. Yüksek kaliteli YBCO ince filmleri elde edebilmek için öncelikle optimum büyütme şartlarını araştırdık. SrTiO3 (STO), MgO, İtrium Sabitlenmiş Zirkonyum Oksit (YSZ) ve LaAlO3 (LAO) gibi alttaşlar YBCO ince filmlerinbüyütülmesinde yaygın bir şekilde kullanılmaktadır. Biz eneylerimizde YBCO için uygun kristal örgüye ve termal genleşme katsayısına sahip LAO’yu alttaş olarak kullandık. YBCO için optimum büyütme şartlarını belirledikten sonra LAO alttaşlar üzerine yüksek kaliteli YBCO ince filmler büyütmeyi başardık. Son olarak PLD ile büyütülen ince filmlerin kristalliklerini ve homojenliklerini tayin etmek macıyla, Yansımalı Yüksek Enerji Elektron Kırınımı (RHEED), X-Işını Kırınımı (XRD), Taramalı ElektronMikroskobu (SEM), Enerji Dağılımlı X-Işını Spektroskopisi (EDX) ve KritikSıcaklık (TC) ölçümleri yapılmıştır.

Anahtar Kelimeler:

-

Keywords:

YBCO, Pulsed Laser Deposition, PLD, RHEED, XRD, SEM, EDX Tc,

PDF

___

Bierleutgeb, K. and Proyer, S., 1997. Pulsed-laser deposition of Y-Ba-Cu-O films: the influence of fluence and oxygen pressure. Applied Surface Science, 109-110, 331-334.
Cancellieri, C., Augieri, A., Boffa, V., Celentano, G., Ciontea, L., Fabbri, F., Gailluzzi, V., Gambardella, U., Grassano, G., Petrisor, T. and Tebano, R., 2005. Deposition and characterization of Y1- xCaxBa2Cu3O7-delta epitaxial thin films. IEEE Transactıons On Applıed Superconductıvıty, 15(2), 3038-3041.
Chrisey, D.B. and Hubler, G.K., 1994. Pulsed Laser Deposition of Thin Films. Wiley-Interscience, USA.
Develos-Bagarinao, K., Yamasaki, H., Nakagawa, Y. and Endo, K., 2004. Pore formation in YBCO films deposited by a large-area pulsed laser deposition system. Superconductor Science & Technology, 17(11), 1253-1260.
Duhalde, S., Lamagna, A., Villafuerte, M., Schwartzman, A., Correra, L. and Quintana, G., 1998. Influence of the deposition parameters on the structural and transport properties of YBaCuO thin films prepared by pulsed laser deposition. Applied Surface Science, 127, 520-524.
Hollmann, E.K., Vendik, O.G., Zaitsev, A.G. and Melekh, B.T., 1994. Substrates for high-Tc superconductor microwave integrated circuits. Superconductor Science and Technology, 7(9), 609-622.
Kim, S.M. and Lee, S.Y., 1999. Characterization of YBCO superconducting films fabricated by pulsed laser deposition. Thin Solıd Films, 355, 461-464.
Klein, J., 2001. Epitaktische Heterostrukturen aus dotierten Manganaten. PhD Thesis, Universitat zu Köln, Köln.
Lee, S.Y., Jia, Q.X., Anderson, W.A. and Shaw, D.T., 1991. In situ laser deposition of superconducting YBa2Cu3O7−x thin films on GaAs substrates. Journal of Applied Physics, 70(11), 7170-7170.
Proyer, S. and Stangl, E., 1995. Time-Integrated Photography of Laser- Induced Plasma Plumes. Applıed Physıcs A-Materıals Scıence & Processıng, 60(6), 573-580.
Proyer, S., Stangl, E., Borz, M., Hellebrand, B. and Bauerle, D., 1996. Particulates on Pulsed-Laser Deposited Y-Ba-Cu-O films. Physıca C, 257(1-2), 1-15.
Wang, P., Li, J., Peng, W., Chen, K., Lang, P.L., Xiang, J.Y., Chen, Y.F., Xu, X.P., Tian, H.Y. and Zheng, D.N., 2004. Epitaxial growth of YBa2Cu3O7-delta thin films on silicon-on-insulator substrates by pulsed laser deposition. Superconductor Science & Technology, 17(6), 804-807.
Wu, M.K., Ashburn, J.R., Torng, C.J., Hor, P.H., Meng, R.L., Gao, L., Huang, Z.J., Wang, Y.Q. and Chu, C.W., 1987. Superconductivity at 93 K in a new mixed-phase Yb-Ba-Cu-O compound system at ambient pressure. Physical Revıew Letters, 58(9), 908-910.
Yanmaz, E., Basoglu, M. and Grovenor, C.R.M., 2009. Anomalous ferromagnetic behaviour of Y2O3 and CuO nanoparticles in YBa2Cu3Oy superconductor. Physica Status Solidi A-Applicatıons and Materials Science, 206(12), 2844-2850. ****