Süleyman KERLİ, Ümit ALVER, Hakan YAYKASLI, Saniye TEKEREK

Flor Katkılı ZnO İnce Filmlerin Üretimi ve Fiziksel Özelliklerinin İncelenmesi

Bu çalışmasında, kimyasal püskürtme yöntemi ile katkısız ve flor katkılı ZnO filmler üretildi. Kimyasal Püskürtme Yöntemi ile 450 °C taban sıcaklığında cam altlıklar üzerine ZnO ve Flor katkılı ZnO ince filmleri ZnCl2 tuzu kullanılarak elde edilmiş ve elde edilen bu ince filmlerin fiziksel özellikleri incelenmiştir. Filmlerin X- ışını toz kırınım deseninden, ince filmlerin kristal yapısının hekzagonal würtzit yapıda olduğu belirlenmiştir. Optik yöntemlerle ince filmlerin yasak enerji aralıkları bulunmuştur. Filmlerin özdirençleri dört nokta yöntemi ile bulunmuştur. SEM görüntülerinden flor katkısının filmlerin morfolojik yapısını değiştirdiği görülmüştür.

Anahtar Kelimeler:

ZnO, Kimyasal Püskürtme Yöntemi, Flor

Fabrication and Investigation About Physical Properties of Fluorine Doped ZnO Thin Films

In this work undoped, fluorine doped ZnO films were produced by chemical spray pyrolysis method, respectively. ZnO and Fluorine doped ZnO films were obtained onto glass substrates at 450 oC using ZnCl2precursor by spray pyrolysis method and the physical properties of those films were examined. The X-ray diffraction pattern show that the crystal structures of the films are hexagonal wurtzite structure. Energy gaps of the films were obtained by using optical measurements. Resistances of the films were determined by four point method. From SEM images it is observed that fluorine contribution changes the morphologies of the films.

Keywords:

ZnO, Chemical spray pyrolysis, Fluorine,

PDF

___

K. Nomura et al., Science 300 (2003) 1269.
T. Nakada et al Sol. Energy 77 (2004) 739.
B.N. Pawar et al, Journal of Physics and Chemistry of Solids 66 (2005) 1779.
S.Y. Lee et al Thin Solid Films 437 (2005) 31.
R.Könenkamp et al Appl. Phys. Lett. 85 (2004) 6004.
S.T. Mckinstry, P. Muralt, J. Electroceram. 12 (2004) 7.
Z.L. Wang, X et al, Adv. Funct. Mater. 14 (2004) 943.
M.S. Wagh et al , Mater. Chem. Phys. 84 (2004) 228.
Y. Ushio, et al, Sensor Actuat. B 17 (1994) 221.
H. Harima, J. Phys.: Condens. Matter 16 (2004) S5653.
S.J. Pearton, W. H. Heo, M. Ivill, D. P. Norton, and T. Steiner, Semicond. Sci. Technol. 19 (2004) R
Z. Zhang, C. Bao, W. Yao, S. Ma, L. Zhang, S. Hou. Superlattices and Microstructures, 49 (2011 ) 644
Y. Kim, W. Tai, Applied Surface Science, 253 (2007)4911.
B.N. Pawar et al Applied Surface Science, 254 (2008) 6294.
R. Ferro et al. Phys. Stat. Sol. 177 (2000) 477.
M.de la L. Olvera et al, Solar Energy Materials & Solar Cells, 73 (2002) 425.
Gil Ho Kim et al. Materials Chemistry and Physics 131 (2011) 77.
P.M. Ratheesh Kumar et al Materials Science and Engineering:B 117 (2005) 307. Ratheesh Kumar P. M. Spray Pyrolysed Zinc Oxıde Thin Films: Effects Of Doping And İon Beam İrradiation. Doktora Tezi. Cochin University of Science and Technology Cochin, India. 248s. (2007).