Bu çalışmada ince fimlerirı optikseI karakterizasyonunda sıkça kullanılan polarimetrik bir yöntem olan Elipsometri tekniği incelenmiştir. Yapılan çalışmada bir elektromagnetik dalganın elipsometre düzeneği içersindeki davranışı ayrıntılı olarak ele alınmıştır. Daha sonra elipsometrik parametreler ve denklemler tanımlanmış ve her hangi bir ince film için kırılma indisi ve soğurma katsayısının elipsometrik yöntemle nasıl hesaplandığı açıklanmıştır.