Ahmet DURMAZ, Şekip Esat HAYBER, Umut AYDEMİR

Fabry-Perot İnterferometre Tabanlı Sensörlerde Mesa Boyutlarının MEMS Diyaframlar Üzerine Etkisi

THE EFFECT OF MESA DIMENSIONS ON MEMS DIAPHRAGMS FOR FABRY-PEROT INTERFEROMETER-BASED FIBER OPTIC SENSORS

Uludağ Üniversitesi Mühendislik Fakültesi Dergisi

2023-Cilt: 28 Sayı: 1

177-192

Mesa Diyafram, MEMS, Fabry-Perot İnterferometresi, Fiber Optik Sensör

Mesa Diaphragm, MEMS, Fabry-Perot Interferometer, Fiber Optic Sensors

25620