Çift Gaz Boşalma Aralıklı Plazma Hücresinde GaAs Yarıiletken Yüzeyindeki Oksitlenmenin Sistem Karakteristiklerine Etkisi

GaAs yarıiletken katotlu çift gaz boşalma aralıklı plazma hücresinde sistem karakteristiklerinin oksitlenme nedeniyle kararsızlık sergilediği deneysel olarak elde edilmiştir. Sistem karakteristikleri geniş bir gaz basıncı (p = 28 – 342 Torr), elektrotlar arası mesafe (d1 = 50 µm d2 = 50 – 320 µm) ve D = 9 mm lik yarıiletken katot çapı için deneysel olarak araştırıldı. U = 200-2000 Volt besleme gerilimi altında, Paschen eğrisinden kritik voltaj değerleri belirlendi.

The Effect of The Oxidation on GaAs Semiconductor Surface to the System Characteristics in A DoubleGapped Plasma Cell

The system characteristic in a double gap gas discharge plasma cell with GaAs cathode has been identified to be unstable due to the oxidation, experimentally. The experimental studies include the system characteristics in a wide range of pressures (p = 28 – 342 Torr), interelectrode distances (d1 = 50 µm d2 = 50 – 320 µm) and semiconductor cathode diameter D (9 mm). Under the applied voltage U=200-2000, the critical voltage values from the Paschen curves are determined

___

Bibtex @ { politeknik368020, journal = {Politeknik Dergisi}, eissn = {2147-9429}, address = {Gazi Üniversitesi Teknoloji Fakültesi 06500 Teknikokullar - ANKARA}, publisher = {Gazi Üniversitesi}, year = {2014}, volume = {17}, number = {4}, pages = {161 - 165}, title = {Çift Gaz Boşalma Aralıklı Plazma Hücresinde GaAs Yarıiletken Yüzeyindeki Oksitlenmenin Sistem Karakteristiklerine Etkisi}, key = {cite}, author = {Kurt, Hilal Yücel and Kalkan, Gülcan and Özer, Metin and Tanrıverdi, Evrim and Yiğit, Duygu} }
APA Kurt, H. Y. , Kalkan, G. , Özer, M. , Tanrıverdi, E. & Yiğit, D. (2014). Çift Gaz Boşalma Aralıklı Plazma Hücresinde GaAs Yarıiletken Yüzeyindeki Oksitlenmenin Sistem Karakteristiklerine Etkisi . Politeknik Dergisi , 17 (4) , 161-165 .
MLA Kurt, H. Y. , Kalkan, G. , Özer, M. , Tanrıverdi, E. , Yiğit, D. "Çift Gaz Boşalma Aralıklı Plazma Hücresinde GaAs Yarıiletken Yüzeyindeki Oksitlenmenin Sistem Karakteristiklerine Etkisi" . Politeknik Dergisi 17 (2014 ): 161-165 <
Chicago Kurt, H. Y. , Kalkan, G. , Özer, M. , Tanrıverdi, E. , Yiğit, D. "Çift Gaz Boşalma Aralıklı Plazma Hücresinde GaAs Yarıiletken Yüzeyindeki Oksitlenmenin Sistem Karakteristiklerine Etkisi". Politeknik Dergisi 17 (2014 ): 161-165
RIS TY - JOUR T1 - Çift Gaz Boşalma Aralıklı Plazma Hücresinde GaAs Yarıiletken Yüzeyindeki Oksitlenmenin Sistem Karakteristiklerine Etkisi AU - Hilal Yücel Kurt , Gülcan Kalkan , Metin Özer , Evrim Tanrıverdi , Duygu Yiğit Y1 - 2014 PY - 2014 N1 - DO - T2 - Politeknik Dergisi JF - Journal JO - JOR SP - 161 EP - 165 VL - 17 IS - 4 SN - -2147-9429 M3 - UR - Y2 - 2022 ER -
EndNote %0 Politeknik Dergisi Çift Gaz Boşalma Aralıklı Plazma Hücresinde GaAs Yarıiletken Yüzeyindeki Oksitlenmenin Sistem Karakteristiklerine Etkisi %A Hilal Yücel Kurt , Gülcan Kalkan , Metin Özer , Evrim Tanrıverdi , Duygu Yiğit %T Çift Gaz Boşalma Aralıklı Plazma Hücresinde GaAs Yarıiletken Yüzeyindeki Oksitlenmenin Sistem Karakteristiklerine Etkisi %D 2014 %J Politeknik Dergisi %P -2147-9429 %V 17 %N 4 %R %U
ISNAD Kurt, Hilal Yücel , Kalkan, Gülcan , Özer, Metin , Tanrıverdi, Evrim , Yiğit, Duygu . "Çift Gaz Boşalma Aralıklı Plazma Hücresinde GaAs Yarıiletken Yüzeyindeki Oksitlenmenin Sistem Karakteristiklerine Etkisi". Politeknik Dergisi 17 / 4 (Aralık 2014): 161-165 .
AMA Kurt H. Y. , Kalkan G. , Özer M. , Tanrıverdi E. , Yiğit D. Çift Gaz Boşalma Aralıklı Plazma Hücresinde GaAs Yarıiletken Yüzeyindeki Oksitlenmenin Sistem Karakteristiklerine Etkisi. Politeknik Dergisi. 2014; 17(4): 161-165.
Vancouver Kurt H. Y. , Kalkan G. , Özer M. , Tanrıverdi E. , Yiğit D. Çift Gaz Boşalma Aralıklı Plazma Hücresinde GaAs Yarıiletken Yüzeyindeki Oksitlenmenin Sistem Karakteristiklerine Etkisi. Politeknik Dergisi. 2014; 17(4): 161-165.
IEEE H. Y. Kurt , G. Kalkan , M. Özer , E. Tanrıverdi ve D. Yiğit , "Çift Gaz Boşalma Aralıklı Plazma Hücresinde GaAs Yarıiletken Yüzeyindeki Oksitlenmenin Sistem Karakteristiklerine Etkisi", Politeknik Dergisi, c. 17, sayı. 4, ss. 161-165, Ara. 2014