Hilal Yücel KURT, Gülcan KALKAN, Metin ÖZER, Evrim TANRIVERDİ, Duygu YİĞİT

Çift Gaz Boşalma Aralıklı Plazma Hücresinde GaAs Yarıiletken Yüzeyindeki Oksitlenmenin Sistem Karakteristiklerine Etkisi

The Effect of The Oxidation on GaAs Semiconductor Surface to the System Characteristics in A DoubleGapped Plasma Cell

Politeknik Dergisi

2014-Cilt: 17 Sayı: 4

161-165

Gaz boşalması, GaAs, plazma, oksitlenme, çift aralık

Gas discharge, GaAs, plasma, oxidation, double gap

8911