İrmak KARADUMAN, Özlem BARİN, Dilber Esra YILDIZ, Selim ACAR

Atomik Tabaka Biriktirme Metodu ile Üretilen HfO2 Tabanlı Sensörlerin Hidrojen Gaz Algılama Özelliklerinin İncelenmesi

Investigation of Hydrogen Gas Sensing Properties of HfO2 Based Sensor Produced By Atomic Layer Deposition Method

Politeknik Dergisi

2016-Cilt: 19 Sayı: 3

223-229

Gaz Sensör, ALD, Hidrojen

Gas Sensor, ALD, Hydrogen

419